AFD系列立式管式氣氛爐的*設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對樣品快速升降溫，四面加熱，溫場更均勻，立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢，爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性，可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)?、氧氣、氧化碳、氨分解氣等氣體，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，特別適合薄膜生長、電測試、氧化物晶體生長、快速退火等實(shí)驗(yàn)需要！
1200℃立式管式氣氛爐適用范圍：
立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
1200℃立式管式氣氛爐技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 1200度立式管式氣氛爐 |
產(chǎn)品型號 | AFD1200-50 |
爐管尺寸 | Φ50×1000mm |
溫區(qū)長度 | 440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
| 200mm |
工作溫度 | 1100℃（此溫度為加熱溫度） |
高溫度 | 1200℃ |
控溫方式 | 智能化30段可編程控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
控溫度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
加熱速率 | 0~20℃/分 |
加熱元件 | 含鉬合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制） |
大功率 | 3KW |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng) |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥。 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好、可12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。 |
真 空 度 | 雙旋片機(jī)械泵：10^-2 torr |
| 該爐配有浮子流量計(jì)，客戶可通過浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量計(jì)控制氣體的流速。 |
| 氣煉石英管 |
| 4.03×10-3Pa |
測溫元件 | K型熱電偶測溫 |
凈 重 | 70KG |
提供相關(guān)配件 | 氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、爐塞 |
| CE認(rèn)證 |
| 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修 |
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